Фотолюминесцентная спектроскопия полупроводниковых наноструктур с планарно-неоднородными слоями

• Автор: Хабаров, Юрий Васильевич
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2007
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 181 с. : ил.

Глава 1. ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНТНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ.
ОСНОВЫ МЕТОДА И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ
Глава 2. СПЕКТРАЛЬНО-КОРРЕЛЯЦИОННЫЙ МЕТОД
ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ НАНОСТРУКТУР И ОСОБЕННОСТИ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ НА БАЗЕ ТЕХНОЛОГИИ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ И
ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНТНОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
2.1 Общие принципы построения спектрально-корреляционного метода исследования наноструктур
2.2 Технологические аспекты реализации спектрально корреляционного метода на базе МЛЭ
2.3 Фотолюминесцентная спектроскопия как инструмент измерений при исследованиях спектрально-корреляционным методом
2.4 Аппаратурные аспекты реализации спектрально-корреляционного метода исследований с использованием ФЛ спектроскопии
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ В ИЗОЛИРОВАННЫХ КВАНТОВЫХ ЯМАХ
3.1 Построение эксперимента и исследованные образцы
3.2 Результаты исследования образца А. Общая оценка возможностей применения спектрально-корреляционного метода
3.2.1 Порядок проведения эксперимента и оценки параметров слоев
3.2.2. Фотолюминесценция квантовых ям АЮаАз - ОаАэ - АЮаАэ
3.2.3. Фотолюминесценция 1п-содержащих квантовых ям

3.3 Результаты исследования образца В. Особенности фотолюминесценции изолированных квантовых ям АЮаАя-ОаАз-АЮаАв
3.3.1 Анализ энергетического положения линий ФЛ
3.3.2 Анализ интенсивности ФЛ
3.4 Некоторые методологические особенности применения спектрально-корреляционного метода, проявляющиеся в рассмотренных задачах
3.5 Выводы к главе
Глава 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ В
ТУННЕЛЬНО-СВЯЗАННЫХ ОаАБ-ГпОаАз-ОаАз КВАНТОВЫХ ЯМАХ
4.1 Анализ энергетического положения линий ФЛ туннельносвязанных квантовых ям
4.2 Анализ интенсивности ФЛ туннельно-связанных квантовых ям
4.3 Выводы к главе
Глава 5. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПОПЕРЕЧНОГО
ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЮ КВАНТОВЫХ ЯМ
5.1 Введение
5.2 Исследованные образцы
5.3 Влияние электрического поля на фотолюминесценцию нелегированной квантовой ямы ОаАзЛпОаАзЛлаАз
5.4 Влияние электрического поля на фотолюминесценцию модуляционно легированной квантовой ямы АЮаАз/ОаАз/АЮаАэ
5.5 Выводы к главе
Глава 6. ИССЛЕДОВАНИЕ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ 8ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ п-ТИПА
6.1. Введение

6.2. Исследуемый образец и методика эксперимента
6.3. Результаты эксперимента
6.4. Обсуждение результатов эксперимента
6.5. Выводы к главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. КРАТКИЙ АНАЛИЗ ОБЩИХ АСПЕКТОВ
ПРИМЕНЕНИЯ И РАЗВИТИЯ СПЕКТРАЛЬНО-КОРРЕЛЯЦИОННОГО МЕТОДА ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
НАНОСТРУКТУР
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА

их заселенности, параметров пространственной локализации носителей заряда и кинетических процессов в низкоразмерных структурах в сочетании с возможностями технологии МЛЭ прецизионно создавать эти структуры делает метод ФЛ одним из основных инструментов исследования двумерных, одномерных и нульмерных полупроводниковых систем [23-40, 47-59,62-68].
Многоплановость экспериментального использования метода ФЛ хорошо соответствует возможности его применения в составе СКМ, также ориентированного на широкий спектр физических задач. Необходимость анализа в рамках СКМ вспомогательной структуры для оценки параметров латеральной неоднородности (различной по характеру) делает это достоинство ФЛ спектроскопии еще более существенным. Основные характеристики метода ФЛ, такие, как высокая локальность, неразрушающий характер, достаточно большая глубина анализа поверхностных слоев полностью соответствует возможности локального анализа многослойных латерально-неоднородных экспериментальных структур. В свою очередь, сочетание спектрально - корреляционного метода исследования и метода ФЛ спектроскопии может, по-видимому, сформировать новые аспекты развития ФЛ спектроскопии, распространяющиеся, также, и на модификации метода ФЛ (ФЛ возбуждения, ФЛ с временным разрешением, ФЛ спектроскопия в магнитном поле и т.д.) и еще более расширить аналитические возможности метода ФЛ.
В проведенных исследованиях методом стационарной ФЛ спектроскопии изучались различные процессы в структурах с латерально-изменяющимися толщинами и компонентным составом квантоворазмерных слоев. Для определения локальных параметров неоднородности использовались вспомогательные структуры, содержащие квантовые ямы.