Радиационная стойкость нитридов металлов к ионам и электронам низких энергий

• Автор: Зыкова, Екатерина Юрьевна
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 170 с. : ил

Глава 1. Обзор литературы
§1. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой
1. Введение
2. Классификация различных типов распыления
3. Теоретические модели распыления
3.1. Модели распыления монокристаллических мишеней
3.2. Модели распыления поликристаллических и аморфных мишеней
3.3. Теоретические модели распыления многокомпонентных мишеней
4. Методы исследования ионного распыления
4.1. Методы экспериментального исследования распыления однокомпонентных мишеней
4.2. Методы экспериментального исследования распыления многокомпонентных твердых тел
4.3. Моделирование процессов распыления на ЭВМ
5. Экспериментальные закономерности распыления твердых тел ионами
5.1. Экспериментальные закономерности распыления
однокомпонентных твердых тел
5.2. Экспериментальные закономерности распыления
многокомпонентных твердых тел
§2. Основные механизмы ЭСД
1. Теоретические модели ЭСД
1.1. Модель Менцеля-Гомера-Редхеда и модель Антониевича
1.2. Модель Кнотека-Фейбельмана
1.3. Модель десорбции для систем с ковалентной связью
1.4. Модель Пули-Херша
2. Методы исследования и основные закономерности ЭСД

2.1.Определение сечения ЭСД по потоку десорбирующихся частиц
2.2. Определение а по времени изменения потоков десорбирующихся частиц и концентрации частиц на поверхности
2.3. Определение сечения ЭСД по появлению на поверхности восстановленной металлической фазы
2.4. Экспериментальные закономерности
§3. Методы напыления тонких пленок
3.1. Методы термического напыления
3.2. Метод дискретного (взрывного) испарения
3.3. Метод молекулярно-лучевой эпитаксии
3.4. Катодное распыление
3.5. Метод лазерного напыления тонких пленок
3.6. Особенности методов напыления пленок нитридов алюминия,
бора и галлия
Глава 2. Экспериментальное изучение распыления нитридов
алюминия и галлия
§1. Экспериментальное оборудование и методики исследования
1.1. Экспериментальная установка для изучения радиационной стойкости A IN и GaN
Выбор объектов исследования
1.2. Экспериментальные методы исследования распыления AIN и GaN
§2. Получение пленок A1N и GaN методом лазерного напыления
2.1. Экспериментальная установка
2.2. Методика исследования пленок AIN и GaN
§3. Результаты и обсуждение
Глава 3. Моделирование распыления нитридов на ЭВМ

§1. Физическая модель
§2. Расчетная модель
§ 3. Результаты и обсуждение
1. Энергетическая зависимость распыления поликристаллов
2. Энергетические зависимости коэффициента распыления и пространственные распределения распыленных атомов из монокристаллов
3. Моделирование последовательности столкновений, приводящей к распылению атомов компонент мишени
4. Сравнение расчетных и экспериментальных данных
Глава 4. Радиационная стойкость нитридов алюминия и галлия по отношению к низкоэнергетическому электронному облучению
§1. Экспериментальная установка и методика проведения экспериментов
§2. Результаты и их обсуиедение
Выводы
Литература

Рис. 15. Энергетическая зависимость коэффициента распыления (100) Си при нормальном падении ионов Аг+, о- расчет [106] по старой и • - по новой модели, соответственно, +, х -экспериментальные данные из [110] и [109], соответственно.